1、前言

        在半導體電子器件用料行業和運用電路原理加工過程中，原用料、晶圓、集成ic的測式方法軟件是必不易少的節點。跟隨半導體電子器件用料行業測式方法軟件技巧的成長，數據源表SMU運用測式電極臺的軟件系統組和都已經 被大面積應用領域于原用料/細小集成電路芯片的電學性印證中。數據源表SMU滿足源測功能表，都可以導致電流值-線電壓(I-V)性曲線擬合，是半導體電子器件用料行業原用料、集成電路芯片電耐磨性定性分析預估的層面；測式電極臺有手動式、半自行和全自行八種，結合測式方法軟件須要使用設備配套的物品如要。在選則時須要需要注意測式電極的面料原料或者針尖的截面積與圖行，測式電極面料原料有所不同，其輸出阻抗不會不同；另外，測式電極尖損傷和環保問題也會對測式方法軟件報告單導致不良影響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT相連構造

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        測量探針臺與源表的銜接普通有有兩種，種安全的使用同水平線銜接，另種安全的使用三同水平線銜接。當精確測量小工作瞬時電流(nA、pA)時，應安全的使用三同軸接轉控制模塊和三同水平線纜。在連結源表自我保障中端測量控制電路中，鑒于三同軸的自我保障層與內芯當中是等電勢，不就會有漏工作電墮胎生，就能夠提升小工作瞬時電流測量可靠性強，精密度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2接地；3內閉屏層；4中部層；5外閉屏層；6外絕緣護套）

圖：三同中軸線纜等效集成運放圖

  上圖一樣為三同定位軸纜線等效用電線路圖，模擬輸出高端品牌HI和Guard直接的電位差差近乎為0，然而消失纜線人體的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系列作品整流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸連入器與常見的兩芯連入器有著不同于，可與此同時接駁數字移動數字信號燈、與地面和閉屏層，閉屏感覺好。和多芯電線電纜優于，三同軸電線電纜結構特征簡約，耐用高；和兩芯同軸電線電纜優于，含有更好的閉屏效果和小數字移動數字信號燈的數據傳輸性能。三同軸電線電纜的連入原則便用了GUARD數字移動數字信號燈，促使了閉屏效用，更極為有利的于小數字移動數字信號燈的在測量。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

利用杜邦線轉BNC母頭確定鏈接；

- 三同軸連接 -

利用三同軸接轉電源模塊對其進行接入。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

馬上選用三同中線使用連入；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將常規的三同軸調換為直流高壓專門用三同水平線；直流電三同軸連接管的抗壓技能較差，普賽斯施用的直流電三同軸連接管能能抗壓3500V。

圖：左-各類高壓三同軸、右-常見的三同軸

HCPL 100大電流源表

大功率在線測量時，單根檢測器允許的功率有限制，功率過大能夠會的影響燒針干涉現象，的影響測試英文然而，故而需要運行多檢測器串并聯。

圖：多電極串聯表示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電級進行連接提醒

圖：異面電級鏈接展示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。